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國内幹式真空泵發展現狀

發布時間:2018-09-09 10:24:48 來源:admin
當前國内生産的真空獲得設備仍然以傳統的真空泵為主,主要為水環真空泵、旋片真空泵、蒸汽流泵、滑閥真空泵、羅茨真空泵,且全部用于傳統行業。我國生産的真空泵真正用于集成電子電路信息産業的不足1%。相比于日本、歐美等發達國家差距巨大。我國的幹式真空泵正處于起步階段,全國200多家生産真空泵的企業中,能夠生産幹式真空泵的企業不超過10家,難以形成批量生産。
 
國内生産的幹式真空泵大部分應用于實驗室、化學、醫療等領域,很少有國産幹泵應用于半導體行業。究其原因一方面半導體的生産過程中會産生大量粉塵,處理不好容易造成幹泵卡死,尤其刻蝕工藝多用腐蝕性氣體,會對幹泵内部零件造成腐蝕,造成漏油、毒氣洩漏等事故。若幹泵故障多發,對半導體集成電路生産造成的損失巨大。國産幹泵的可靠性還不能解決上述問題。近年來,随着國内經濟轉型,半導體電子信息産業在國内的飛速發展,但國内幹式真空泵的發展沒有跟上,使該領域成為國際上幹式真空泵工業發達國家的擴張之地。
 
國内的半導體集成電路生産線,幾乎所有的幹式真空泵都是進口泵,進口泵主要來自日本、德國、美國、英國、法國等。在日本,半導體行業已全部用幹式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業45%以上用幹式真空泵代替油封式機械泵,目前幹式真空泵的主要型式有爪型、羅茨型、渦旋型、螺杆型和往複活塞式、隔膜式等幾種。國内生産的幹式真空泵想要進入該領域十分艱難,使得幹式真空泵這個未來真空獲得設備的主導産品在國内的處境十分艱難,造成此狀況的主要原因是我國真空幹泵的起步晚,絕大部分市場已經被國外産品占領。國内真空幹泵除了價格優勢,在加工、材料、設計創新都難以與國外品牌競争。尤其可靠性方面更是與國外同類産品存在差距。
 
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